报告题目：Deep ultraviolet laser for hybrid ArF excimer laser and lasers for the accelerators

报告地点：控制大厅二楼会议室

报告时间：4月21日 上午9：30

主持人：胡立群

　　主讲人：玄洪文，任中国科学空天信息研究院粤港澳大湾区研究院研究员。山东大学光学系本科（2006）, 北京理工大学光学工程硕士（2008），中国科学院物理研究所博士(2012)。2012年10月至2017年3月，日本东京大学物性研究所特任研究员。在东京大学工作期间，从事光纤激光、Yb：YAG固体激光及非线性光学频率变换研究。在深紫外258nm及193 nm等波长产生方面，取得了创新性的成果。2017年6月至2019年12月，任职于德国汉堡大学/德国电子加速器中心（DESY），主要参与新型小型化芯片加速器（Accelerator-on-a-chip, ACHIP）项目，负责介电质激光加速用2微米超快激光开发；同时参与了European XFEL光电阴极激光、FLASH1&FLASH2泵浦-探测激光的开发及日常运行维护。

　　报告内容摘要：高功率、高相干性的193nm激光在未来的干涉光刻制程、激光加工等方面有着重要的应用。使用高相干性的固体激光，作为种子注入ArF准分子激光放大器中，可在193nm波长处同时获得高功率及高相干性。报告中，将介绍高平均功率193nm固体激光及ArF准分子激光放大的研究及应用结果；同时，也将简要介绍所参与研发的面向加速器应用的深紫外到中红外激光。